MEMS mechanical sensors /

Annotation

Библиографические подробности
Другие авторы: Beeby, Stephen
Формат: Licensed eBooks
Язык:английский
Опубликовано: Boston : Artech House, ©2004.
Серии:Microelectromechanical systems series.
Online-ссылка:https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=112165