MEMS mechanical sensors /

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書誌詳細
その他の著者:	Beeby, Stephen
フォーマット:	Licensed eBooks
言語:	英語
出版事項:	Boston : Artech House, ©2004.
シリーズ:	Microelectromechanical systems series.
オンライン･アクセス:	https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=112165

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