Interconnection development for InP-HBT terahertz circuits
מחבר ראשי: | |
---|---|
פורמט: | Licensed eBooks |
שפה: | אנגלית |
יצא לאור: |
Göttingen :
Cuvillier Verlag,
2020.
|
סדרה: | Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.
|
גישה מקוונת: | https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=2471449 |
תוכן הענינים:
- Intro
- 1. Introduction
- 2. InP HBT transferred-substrate process
- 3. Plasma etching of benzocyclobutene
- 4. Nickel chrome thin film resistors
- 5. Through silicon vias in atransferred-substrate process
- 6. Summary
- List of Figures
- List of Tables
- Bibliography
- Appendix A Publications
- Appendix B Acronyms