MEMS mechanical sensors /

Annotation

Бібліографічні деталі
Інші автори: Beeby, Stephen
Формат: Licensed eBooks
Мова:Англійська
Опубліковано: Boston : Artech House, ©2004.
Серія:Microelectromechanical systems series.
Онлайн доступ:https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=112165