Interconnection development for InP-HBT terahertz circuits

Bibliografske podrobnosti
Glavni avtor: Stoppel, Dimitri
Format: Licensed eBooks
Jezik:angleščina
Izdano: Göttingen : Cuvillier Verlag, 2020.
Serija:Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.
Online dostop:https://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=2471449
Kazalo:
  • Intro
  • 1. Introduction
  • 2. InP HBT transferred-substrate process
  • 3. Plasma etching of benzocyclobutene
  • 4. Nickel chrome thin film resistors
  • 5. Through silicon vias in atransferred-substrate process
  • 6. Summary
  • List of Figures
  • List of Tables
  • Bibliography
  • Appendix A Publications
  • Appendix B Acronyms